Свои первые эксимерные лазеры для 65 нм и меньше: Россия становится третьим в мире обладателем собственной технологии
17 авг 2026 13:05
Эксимерный лазер — важный компонент фотолитографических установок, использующихся при изготовлении микроэлектроники с нормами проектирования от 65 нм. Россия, где этот тип лазера был впервые...
Подробнее